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초고속/고정밀 xy-stage (이동 가능한 테이블 시스템)

작성자 관리자
댓글 0건 조회 1,717회 작성일 16-07-21 10:30

초고속/고정밀 xy-stage

(이동 가능한 테이블 시스템)

기술 개요 및 기술의 특장점

- xy-stage의 속도 및 정밀도는 생산장비의 생산성과 제품 품질에 각각 큰 영향을 미침

- 일반적인 xy-stage는 한 축의 가동부 위에 다른 축이 장착되어 있어서 관성질량이 커져서 속도를 올리기 힘듦

- 또한 리니어모터의 추력이 관성반력으로 베이스 프레임에 그대로 전달되어, 베이스 프레임이 흔들려서 정밀한 제어가 힘들어짐

- 본 특허에서는 수십 밀리미터 정도의 짧은 스트로크를 10 g 이상의 가속도로 움직일 수 있어서 초당 8개 이상의 미소혈 가공이 가능하고, 정밀한 위치 제어가 가능한 xy-stage를 제공 (g: 중력가속도)

- 컴팩트한 본 xy-stage는 모듈 형태로 long-stroke xy-stage 위에 장착되어 사용될 수도 있음

- 두 개의 직교하는 리니어모션가이드에 의해 가동부를 구동하여 이를 구동하는 두 리니어모터는 모두 베이스프레임에 고정되도록 되어 있으며, 카운터밸런스 기구에 의해 관성반력을 상쇄하도록 되어 있음 (그림 1)

- 광파이버에 연결된 레이저 헤드를 가동부에 장착하여 레이저 가공기를 구성할 수도 있고, 그림 2와 같이 외부에 레이저 발진기를 두고 반사경을 이용한 직교동작을 구현할 수도 있음 (Galvanometer를 사용한 레이저 가공보다 에너지밀도를 높인 정밀한 가공이 가능)

<그림1> xy-stage 기본구조 <그림2> 레이저발진기를 외부에 둔 경우 <그림3> 초고속 xy-stage 시작품

- 기술 적용 분야 : 레이저 가공기, Lead bonding machine, 그 외 초고속/고정밀 xy-stage가 필요한 분야

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